密閉式搬送ケースを使⽤しグローブボックスなどで前処理した基板を⼤気に曝すことなく 真空装置に接続し装置内に搬送した後、有機物や電極などの成膜処理を⾏います。 処理後の基板も⼤気に曝すことなくグローブボックスに戻すことが可能です。
仕様
試料基板サイズ：最⼤150㎜/処理枚数 1枚 排気性能：10E-4P台まで45分以内/到達5.0×10E-5Pa PLCによる⾃動制御（タッチパネル操作） ターボ分⼦ポンプ＋ドライポンプ 抵抗加熱源：8源 4源/1電源×2セット
オプション
膜厚レートコントロール ⾃動搬送 特殊基板トレイ 基板加熱/冷却 電⼦銃、K-Cell
