真空チャンバー内に仕切りを設け有機と金属のエリアを分けコンタミを考慮しています。
仕様
・基板サイズ：最大□100mm ・基板収納部：有機/金属エリア 各1式 ・到達圧力5.0×10E-5Pa以下 ・主排気ポンプ：ターボ分子ポンプ ・PLCによる自動制御（タッチパネル操作）
オプション
・膜厚レートコントロール ・特殊基板トレイ ・基板加熱/冷却 ・電子銃、K-Cell
