グローブボックス用プローバーシステム
【特徴】
グローブボックス内に入れグローブ装着状態で簡単に操作が出来るよう工夫されたコンパクトなシステムです。
軸の自動化(外部制御)やコンタクトカメラなど様々なオプションを取り揃えています。
仕様
■外寸(mm)：450W×310D（突起物含み)
■基板サイズ：□25mm
■試料ステージ軸
・Y軸ST=±30mm
・基板固定機構
■XYZプローブ軸 3セット
・XY軸ST=±12.5mm/Z軸ST=±5mm
■同軸プローブ タングステン探針
■観察カメラ（照明付き）
カメラ上下機構
10インチ液晶モニター
オプション
◆コンタクトカメラ
カメラ映像を見ながらソフトに接触
◆観察カメラ
カメラ映像を見ながらプローブ位置出し